Bir wafer işleme aracının içinde, wafer hazne veya taşıma istasyonundan ayrılmadan önce birçok işlem gerçekleşir. Pompalar çalışır, vanalar değişir, sensörler okumalar döndürür, transfer mekanizmaları wafer'ı hareket ettirir ve işlem yazılımı her adımı takip eder.

Fansız bir mini PC, ekipman kabininin içine yerleştirilebilir ve yazılım tarafında bu diziyi destekleyebilir. Görevi, makine uygulamalarını, çevre birimi iletişimini ve üretim verilerini işlem döngüsü boyunca kullanılabilir tutmaktır.

1. Uygulama Arka Planı

Wafer işleme ekipmanları birden fazla makine türünü kapsar. Üretim aşamasına bağlı olarak, sistem temizleme, malzeme teslimi, wafer transferi, işlem izleme veya hazne çevresindeki destekleyici kontrol fonksiyonlarını yönetebilir.

Bu sistemler tipik olarak wafer üretimini temel operasyonel alanlarda destekler:

• Wafer temizleme istasyonları, burada pompalar, vanalar, sensörler ve işlem dizileri birlikte çalışmalıdır.
• Wafer transfer sistemleri, burada taşıma mekanizmaları wafer'ları yükleme portları, hazneler veya işlem pozisyonları arasında hareket ettirir.
• Gaz veya kimyasal teslim ekipmanları, burada çalışma koşulları ve besleme durumu kontrol yazılımına görünür kalmalıdır.
• Sıcaklık, basınç ve akış izleme, burada işlem enstrümanları sürekli olarak ekipman verilerini döndürür.
• Destekleyici işlem modülleri, burada birkaç çevre birimi cihazının tek bir makine uygulamasıyla iletişim kurması gerekir.

Bu makinelerde bilgisayar genellikle ayrı bir iş istasyonu olarak görünmek yerine kontrol kabininin bir parçası haline gelir. Bu konum en önemli olanı değiştirir. Sistemin mevcut cihazlar için yeterli iletişim yollarına, makineye özel genişleme için alana ve ekipmanın elektrik tasarımına uygun bir güç düzenlemesine ihtiyacı vardır.

2. Çözüm Uygulaması

Fansız mini PC, wafer işleme ekipmanı muhafazasına monte edilir ve makine düzenine göre bağlanır.

• İşlem ekipmanları genellikle hala RS232, RS422 veya RS485 kullanan kontrolörler veya enstrümanlar içerdiğinden, seri cihazlar birkaç COM portunu kaplayabilir. Mevcut platform, biri RS232/422/485 için yapılandırılabilir altı adede kadar COM portunu destekleyebilir.
• Ağ bağlantıları daha sonra makine tasarımına göre ayrılabilir. İki Gigabit Ethernet portu ile, bir bağlantı ekipman tarafında kalabilirken, diğeri üst düzey bir ağ veya başka bir makine alt sistemiyle iletişim için ayrılabilir.
• Ekipman özel bir arayüz kartı gerektirdiğinde genişleme farklı şekilde ele alınır. Platform, PCIe x4 ve PCIe x1 dahil olmak üzere yapılandırmaları destekler, bu da standart yerleşik arayüzler yeterli olmadığında ekipman oluşturucuya başka bir seçenek sunar.
• Güç entegrasyonu, endüstriyel DC dağıtımı kullanan makine kabinleri için de basittir. Sistem 9-36V DC girişini kabul eder ve ters polarite koruması içerir.

Makineyi bilgisayarın etrafında inşa etmek yerine, bilgisayar işlem tarafından zaten tanımlanmış ekipman mimarisine uydurulur. Bu, aynı temel kontrol platformunun birkaç makine sürümü boyunca farklı çevre birimi kombinasyonlarını desteklemesi gerekebilecek projeler için uygun hale getirir.

3. Proje Faydaları

Ekipmanın içine yerleştirildiğinde, ana fayda daha kolay makine entegrasyonudur. Mühendislik ekipleri, işlem yazılımını, cihaz iletişimini ve ekipman veri yönetimini tek bir gömülü bilgi işlem platformunda tutabilirken, özel kontrol görevlerini ilgili kontrolörler ve enstrümanlarla bırakabilir.

Pratik olarak, bu donanım şunları destekleyebilir:

• Daha hızlı kabin entegrasyonu, makine tasarımında birden fazla seri ve Ethernet cihazı zaten tanımlanmışsa.
• Daha kolay yapılandırma değişiklikleri, farklı ekipman sürümleri farklı arayüz kombinasyonları gerektirdiğinde.
• Daha temiz makine iletişimi, işlem cihazları, yerel yazılım ve üst düzey üretim sistemleri arasında.
• Daha esnek genişleme, bir proje ek bir iletişim veya kontrol kartı gerektirdiğinde.
• Daha basit bakım erişimi, günlükler, yazılım ve çevre birimi iletişimi tek bir bilgi işlem düğümü etrafında yoğunlaştığı için.

Ekipman üreticisi için bu, bir makine başka bir wafer işleme adımı veya müşteri yapılandırması için uyarlandığında gereken yeniden tasarım miktarını azaltmaya yardımcı olur. Değer esas olarak makine mimarisini ilk montajdan devreye almaya ve daha sonra hizmete kadar yönetilebilir tutmaktır.

4. Müşteri Görüşü

Panel PC, minimum modifikasyonla ekipman düzenimize sorunsuz bir şekilde entegre olur. Zengin port seçimi, gerekli tüm çevre birimi bağlantılarını destekler ve kabin montajı için mükemmel uyum sağlar. Ve fansız tasarım da kabin kurulumu için iyi çalıştı. —— Güney Kore'den Yarı İletken Ekipman Entegratörü

Wafer işleme ekipmanları, işlem cihazları, makine yazılımı ve üretim sistemleri arasındaki kararlı iletişime bağlıdır.

Seri bağlantı, Ethernet, genişleme yeteneği ve geniş voltajlı DC girişi olan fansız bir mini PC, bu tür ekipmanlar için pratik bir bilgi işlem tabanı sağlayabilir. Nihai yapılandırma, gerçek makine düzenine, bağlı cihazlara ve yazılım gereksinimlerine göre olmalıdır.